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器件瑕疵检测静电吸附方案

客户痛点：

因检测盘高速旋转，器件无法保证在预检位置，未检率超标。

解决方案：

通过静电吸附原理（ESA）将器件通过静电引力固定在预检轨道上，从而顺利完成后续产品检验工作。

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